陈庚亮 副教授

所属领域：半导体设备、机器人

学院：中德智能制造学院

研究方向：精密测量技术、机器视觉、智能传感器

个人简介：

陈庚亮：副教授，电子科学与技术专业主任，美国密歇根州立大学电子工程博士。

研究方向：半导体设备、机器人、精密测量技术、智能传感器、嵌入式系统。围绕半导体量检测产业“卡脖子”技术的解决方案进行攻坚，并取得了突出成果。

项目成果：主持自然科学基金、科技部重点研发专项等省部级项目8项，获美国专利2项，中国发明专利5项，申请发明专利10余项，发表论文10篇，指导学生获国家、省部级大学生电子设计大赛等奖项100余项。

社会任职：担任深圳明锐仪器有限公司总经理

中国仪器仪表学会显微仪器分会委员

深圳市微纳制造产业促进会技术专家

荣誉称号：

深圳市海外高层次人才计划-孔雀C类

全国创新创业优秀博士后

广东省电赛优秀指导教师

个人科研和学生指导经历：

长期深耕半导体设备、精密测量、机器视觉、机器人系统领域，聚焦微纳尺度形貌与物性表征技术的研发与应用。核心技术栈涵盖原子力显微镜（AFM）、光学干涉测量、结构光三维成像与高精密运动控制等。

带领学生攻克项目如下

一、芯片制造所需测量技术-扫描探针技术与AFM系统优化

攻克高真空与极低温环境下的系统热漂移、噪声干扰及探针-样品相互作用变化等难题。

二、机器视觉-光学干涉与结构光三维测量

l 优化白光干涉信号处理与相位定位算法，结合系统误差分析，实现高精度表面三维形貌重建。开展结构光成像的三维测量方法研究，实现复杂表面形貌的快速获取与高精度评估，构建多层膜光学模型。

三、机器人控制系统-高精度仪器系统集成与开发

l 设计并实现高分辨率、高速数模/模数（DAC/ADC）数据采集系统；开发压电驱动与闭环控制算法并实现了机电协同优化：气浮平台稳定性控制。

联系方式：

电话：13510008590

邮箱：chengengliang@sztu.edu.cn